产品简介：
•LiQuilaz®光学粒子计数器是在各种和0.2 µm一样低的灵敏度下测体积的粒子计数器
•她们为大多数工艺化学品提供高精密分析，包含氢氟酸和高达306°F (150 °C)的热腐蚀剂
•可测定体积的粒子计数器通过监测100%采样体积（多达80 毫升/分）提供*高的精确可能，所以利用短时采样间隔而不会降低统计显著性
产品特点：
•特点
•0.3 -3.0μm大小区间
•流量是80 ± 10% 毫升/分钟
•和广泛工艺化学品相兼容
•体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
•用户可选择的粒径值
产品优点：
•产量改进
•实时表征和分析粒子污染，对粒子污染的反应速度快
•全量监测，具有更高的监测精确度，适用于更严格的制程控制
•可选购的软件具有报警设置、状态显示、采样设置、在线支持等功能，便于制程控制
•支持广泛的应用和流体
•配合压缩或是注射采样器使用
•和不同管道标准兼容
•嵌入、批次采样能力
•RS-485网络兼容
•操作简易
•体积小巧，可以轻松安装在制程的任何位置
•灵活的软件为实时或检索数据提供了许多可见的选择
•用户可选择的粒子大小范围
产品应用：
•使用压缩采样进行冒泡的化学品测量
•化学质量保证
•工艺槽监测
•去离子水监测
•化学品传输系统
•光刻胶监测
可用的配件：
•Facility Net软件
Facility Net软件提供了一项全面环境监测的解决方案，包含实时的以及历史数据显示。兼容的PMS粒子计数器和分子污染监测器，以及各种第三方产品
•液体安装套件
与在线应用一起使用，液体安装套件包括一个 Flaretek®扩口工具，25英尺又1/4英寸氟烷氧基烷烃管子和阳螺纹接头
•毛细管清洁套件
毛细管清洁套件和Flaretek®适配器冲洗微细管并且包含：两个10cc注射器以及两个Flaretek®管子配件
•通信配件
LiQuilaz粒子计数器通过RS-485协议进行通信，所以需要通信配件。根据配置，你可能需要2个电缆和一个 BB485转换器。如果 LiQuilaz设备是菊链式（比如：串联连接），一个九针串行电缆可以连接2个设备。如果电脑没有一个九针串行端口，也需要一个USB串口转换器
